平板显示行业常用化学品

1.     铝蚀刻液、钼铝蚀刻液、钼铝钼蚀刻液

        此类产品对具有不同结构信息的单层/多层金属进行有效蚀刻（Mo、MoAl、MoAlMo），形成符合工艺要求的布线

2.     铝钛蚀刻液

        该产品对具有不同结构信息的多层金属（TiAl、TiAlTi）进行蚀刻，形成符合工艺要求的布线：CD loss ≤2.75μm  Taper ≤ 30°

3.     ITO蚀刻液（草酸系、盐酸系、醋酸系）

        此系列产品应用于ITO膜层的蚀刻制程，蚀刻精度高、无残留，蚀刻后形貌：Taper ＜90°

4.     剥离液

        剥离液应用于PR的去除制程，剥离效果好，无PR残留且不腐蚀金属布线

5.     稀释剂

        稀释剂应用于有机物的去除及清洗、边胶去除等制程

6.     单品类（硝酸、冰乙酸、NMP）

        此类产品应用于有机物的去除、清洗、蚀刻液成分补充等功能